[发明专利]基于扫描探针的光路减震装置及方法

摘要

本发明提供一种基于扫描探针的光路减震装置及方法，用于减少光路振动，所述装置包括控制器、第一扫描振镜及一第二扫描振镜、第一采样镜及第二采样镜、第一四象限光探测器及第二四象限光探测器。本发明的优点在于，通过四象限光探测器感应光路中光信号，并将其位置信息进行实时反馈，通过扫描振镜调节光源的光路，使得样品上的光斑位置相对样品保持稳定不变，实现控制光斑稳定不漂移。本发明方法在减少光路振动的基础上，提高了扫描探针显微镜在材料表面光电测量上的稳定性和可靠性，提升了扫描探针显微镜在微区光电响应表征的准确度。

主权项

一种基于扫描探针的光路减震装置，其特征在于，包括： 一控制器； 一第一扫描振镜及一第二扫描振镜，所述第一扫描振镜设置在光源之后，用于改变光源发出的光的光路，所述第二扫描振镜设置在所述第一扫描振镜与样品台之间，用于改变第一扫描振镜反射的光的光路，并将光反射向样品台，所述第一扫描振镜及第二扫描振镜分别与控制器电连接，所述控制器控制第一扫描振镜及第二扫描振镜的转动； 一第一采样镜及一第二采样镜，所述第一采样镜设置在第一扫描振镜及第二扫描振镜之间的光路上，用于采集该光路的光信号，所述第二采样镜设置在第二扫描振镜与样品台之间的光路上，用于采集该光路的光信号； 一第一四象限光探测器及一第二四象限光探测器，所述第一四象限光探测器相对于第一采样镜设置，用于检测来自第一采样镜的光，并将该光在第一四象限光探测器上的位置信息传递给控制器，所述第二四象限光探测器相对于第二采样镜设置，用于检测来自第二采样镜的光，并将该光在第二四象限光探测器上的位置信息传递给控制器。