[发明专利]可吸附曲面物件的装置及应用该装置的贴合设备

摘要

本发明提供一种可吸附曲面物件的装置及应用该装置的贴合设备，其系于下吸附平台、上吸附平台的下基板、上基板表面上分别设有曲面状的第一定位部及与第一定位部形成对应互补状的第二定位部，并在第一、第二定位部上分别设置有下静电保持装置及上静电保持装置，且各下、上静电保持装置分别电性连接有与外部电源相连接的二组第一电极接头组及第二电极接头组，便可凭借下、上静电保持装置所具的电极部导通高压电流，由于电荷无法导通释放的情况下，可使其上的绝缘覆膜层产生静电力紧密吸附于待贴合的下曲面物件与上曲面物件，不仅可使用于吸附曲面物件，也可在真空环境下进行贴合制程，进而达到精密贴合的制程要求，并提高产品的合格率。

主权项

1.一种可吸附曲面物件的装置，其特征在于：包括下吸附平台及上吸附平台，其中：该下吸附平台的下基板表面上设有曲面状的第一定位部，并在第一定位部上设置有用以吸附于预设下曲面物件的下静电保持装置，且下静电保持装置包括有电极部及包覆于电极部二侧表面上的复数绝缘覆膜层，再由电极部电性连接有与外部电源相连接以供电极部通电后绝缘覆膜层产生静电力的二组第一电极接头组；该上吸附平台为与下吸附平台的下基板上下相对设置，并在上吸附平台的上基板表面上设有与第一定位部形成对应互补状的第二定位部，且第二定位部上设置有用以吸附于预设上曲面物件与下曲面物件贴合后保持一致曲面形状的上静电保持装置，而上静电保持装置包括有电极部及包覆于电极部二侧表面上的复数绝缘覆膜层，并由电极部电性连接有与外部电源相连接以供电极部通电后绝缘覆膜层产生静电力的二组第二电极接头组。