[发明专利]接触垫结构及其制造方法

摘要

一种接触垫结构，包括交替堆叠的N层(N≥6)绝缘层及N层导电层，且具有排成二维阵列的N个区域露出各导电层。当所述导电层由下至上编号为第1至第N导电层时，同列的区域中露出的导电层的编号Ln朝一行方向递减，相邻两列的区域之间的Ln值差异固定，同行的区域中Ln由两端向中央渐减，且相邻两行的区域之间的Ln值差异固定。

主权项

1.一种接触垫结构，包括交替堆叠的N层绝缘层及N层导电层，且具有N个区域暴露出各个导电层，N≥6，其中所述区域排列成P行×Q列的二维阵列，P≥3、Q≥2，当所述导电层由下至上编号为第1至第N导电层且区域(i,j)，i＝1～P,j＝1～Q，暴露出的导电层为第Ln_i,j导电层时，第j行的P个区域及第j+1行的P个区域之间的Ln值差异固定，即Ln_1,j‑Ln_1,j+1＝Ln_2,j‑Ln_2,j+1＝…＝Ln_P,j‑Ln_P,j+1＝P，并且在第j行的P个区域中，|Ln_i,j‑Ln_i+1,j|≤2，并且所述P个区域形成具有凹陷形状或凸起形状的不对称结构；当P是奇数时，该凸起形状在位于一行的中间的第h个区域处具有中心最高点，或者当P是偶数时，该凸起形状在位于一行的中间或从一行的中间偏移一个区域的第h个区域处具有中心最高点。