[发明专利]含硅酮骨架高分子化合物、光固化性树脂组合物、光固化性干膜、积层体、及图案形成方法

摘要

本发明所要解决的问题在于，提供一种含硅酮骨架高分子化合物、包含该高分子化合物的光固化性树脂组合物、其光固化性干膜、使用它们的积层体、及图案形成方法，所述硅酮骨架高分子化合物能够以厚膜容易地实行微细图案的形成，并且，能够形成一种作为电性/电子零件保护用皮膜、或基板接合用皮膜等的可靠性优良的固化物层(固化皮膜)，其耐开裂性、及对于基板、电子零件或半导体元件等、尤其是对在电路基板中使用的基材的密接性等各种膜特性优良。本发明的解决问题的技术方案是一种含硅酮骨架高分子化合物，其由下述式(1)表示，包含硅酮骨架且重均分子量为3000～500000。

主权项

一种含硅酮骨架高分子化合物，其由下述式(1)表示，包含硅酮骨架且重均分子量为3000～500000，式(1)中，R1～R4各自独立地表示碳原子数1～8的一价烃基，m与n各自独立地为0～300的整数，此外，a、b都是正数且a+b＝1，X是选自由下述通式(2)、(3)、(4)、(5)及(6)表示的二价基团的群组中的连结基，当将由下述通式(2)表示的单元的摩尔数设为c、将由下述通式(3)表示的单元的摩尔数设为d、将由下述通式(4)表示的单元的摩尔数设为e、将由下述通式(5)表示的单元的摩尔数设为f、将由下述通式(6)表示的单元的摩尔数设为g时，c、d、e、g为0或正数，f为正数，其中，c+d+e为正数；式(2)、式(3)中，V、Z是选自下式中的任一个的2价有机基，‑CH2‑j和p为0或1，此外，R5和R8表示氢原子或甲基，h和k为0～7的整数，R6、R7、R9及R10各自独立地为碳数1～4的烷基或烷氧基，彼此不同或相同，i和r为0、1、及2中的任一个，式(4)中，R11表示氢原子或甲基，q为0～7的整数，式(5)中，Y为二价有机基，R12各自独立地表示氢原子或碳原子数1～8的一价烃基，一部分被卤素原子取代或不被卤素原子取代，彼此不同或相同，R13各自独立地表示碳原子数1～8的亚烷基，彼此不同或相同，此外，Rx是单键或与Rxx闭环而形成环结构的基团，Rxx是氢原子或碳原子数1～8的一价烃基，式(6)中，t与u各自独立地为0～300的整数，此外，R14表示氢原子或甲基，R15与R16各自独立地表示碳原子数1～8的一价烃基，s为0～7的整数。