[发明专利]适用于全框式导电的电镀治具的测漏方法与装置在审
申请号: | 201710224193.2 | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN108691005A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 王彦智;洪俊雄 | 申请(专利权)人: | 台湾先进系统股份有限公司 |
主分类号: | C25D21/00 | 分类号: | C25D21/00;C25D17/08 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 冯志云;王芝艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭露一种全框式导电的电镀治具的测漏方法与装置,适用于一全框式导电的电镀治具,该电镀治具并设置一测漏孔;该测漏方法包含下列步骤:提供一测漏装置,该测漏装置包含:用于接合该电镀治具上测漏孔的一测漏孔接合件、连接于该测漏孔接合件的一真空计、与连接于该真空计的一抽真空马达;将该测漏装置的测漏孔接合件与该电镀治具上的测漏孔密闭接合;启动该抽真空马达自该电镀治具上的测漏孔抽气;若该真空计停止于一预设值,判定该电镀治具无渗漏现象,反之,若该真空计并未停止于一预设值,判定该电镀治具有渗漏现象。 | ||
搜索关键词: | 测漏 电镀 治具 真空计 测漏装置 接合件 导电 框式 接合 抽真空 预设 马达 判定 无渗漏 密闭 抽气 渗漏 | ||
【主权项】:
1.一种全框式导电的电镀治具的测漏方法,适用于一全框式导电的电镀治具,该电镀治具并设置一测漏孔;该测漏方法包含下列步骤:提供一测漏装置;将该测漏装置与该电镀治具接合;启动该抽真空马达;判定该电镀治具有无渗漏现象。
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