[发明专利]光掩模坯基板收纳容器、光掩模坯基板的保管方法以及光掩模坯基板的输送方法

摘要

本发明的课题在于，提供一种能抑制对抗蚀剂图案的影响且能保管、输送光掩模坯基板的光掩模坯基板收纳容器。为此，提供一种光掩模坯基板收纳容器，其特征在于，具备内部构件，其具有内部盒体与保持构件；容器本体，其具有下箱与上盖；及，密封带；容器本体和内部构件由高分子系材料构成，该高分子系材料在采取0.1g样品时在以40℃保持60分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.9×103ng以下，密封带在采取10mm×10mm尺寸的样品时在以150℃保持10分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.8×103ng以下。

主权项

一种光掩模坯基板收纳容器，用于收纳光掩模坯基板，所述光掩模坯基板收纳容器的特征在于，具备：内部构件，所述内部构件具有内部盒体与保持构件，所述内部盒体可以收容所述光掩模坯基板，所述保持构件从上方固定已收纳在所述内部盒体中的所述光掩模坯基板；容器本体，所述容器本体具有下箱与上盖，所述下箱可以收容所述内部盒体，所述上盖可以在内侧嵌合所述保持构件；以及，密封带，所述密封带密封所述容器本体；所述容器本体和所述内部构件由高分子系材料构成，所述高分子系材料在采取0.1g样品时在以40℃保持60分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.9×103ng以下，所述密封带在采取10mm×10mm尺寸的样品时在以150℃保持10分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.8×103ng以下。