[发明专利]抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的操作方法有效
| 申请号： | 201710239324.4 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107043909B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请（专利权）人： | 江阴市光科真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 王明亮 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抽真空效率高的光学用真空腔体及对其抽真空的方法，包括真空腔室和蒸发加热装置，真空腔室的顶部固定设有样品夹具，真空腔室的底部设有台阶，台阶的形状与蒸发加热装置相匹配，蒸发加热装置用于将薄膜材料加热蒸发，真空腔室外侧设有通道，抽真空装置通过通道与真空腔室连通，通道外表面设有通孔，通道外设置环形的热空气储热部，热空气储热部和通道之间设有用于储存收集热空气的环形区域；热空气储热部与真空腔室固定连接；还包括余热利用收集部，余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连。本发明通过余热利用收集部的设置，利用抽真空及余热收集，避免进口室或出口室在抽真空时结冰，提高了抽真空的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空腔室 抽真空 热空气 加热装置 余热利用 储热部 蒸发 抽真空效率 真空腔体 通孔 抽真空装置 薄膜材料 环形区域 加热蒸发 样品夹具 余热收集 出口室 进口室 结冰 中空 连通 匹配 储存 | ||
【主权项】：
1.抽真空效率高的光学用真空腔体，包括真空腔室和蒸发加热装置，真空腔室的顶部固定设有用于夹持待真空镀膜样品的样品夹具，蒸发加热装置用于将薄膜材料加热蒸发，真空腔室外侧设有通道，抽真空装置通过通道与真空腔室连通，其特征在于，真空腔室的底部设有台阶，台阶的形状与蒸发加热装置相匹配，通道外表面设有通孔，通道外设置环形的热空气储热部，热空气储热部和通道之间设有用于储存收集热空气的环形区域；热空气储热部与真空腔室固定连接；还包括余热利用收集部，所述余热利用收集部中空且具备两个端口，其中一个端口与通孔相连；通道的靠近抽真空装置的端口和/或热空气储热部的靠近抽真空装置的端口上设有阀门。
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