[发明专利]制备多孔性材料的方法在审
申请号: | 201710242626.7 | 申请日: | 2017-04-14 |
公开(公告)号: | CN108358607A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 廖三棨;江世哲;郑瑞滨 | 申请(专利权)人: | 润泰精密材料股份有限公司 |
主分类号: | C04B33/132 | 分类号: | C04B33/132;C04B33/13;C04B18/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 章蕾 |
地址: | 中国台湾台北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种制备多孔性材料的方法,其包含:提供干燥的污泥,其是由半导体制程化学机械研磨所产生;将所述干燥的污泥、黏土矿物及发泡剂混合并研磨成粉体;再将所述粉体与黏结剂混合以得一混合物;以及烧结膨胀所述混合物,以获得一多孔性材料。 | ||
搜索关键词: | 多孔性材料 混合物 污泥 制备 化学机械研磨 半导体制程 发泡剂混合 研磨成粉体 黏土矿物 烧结 黏结剂 粉体 膨胀 | ||
【主权项】:
1.一种制备多孔性材料的方法,其包含:(1)提供一干燥的半导体制程中化学机械研磨所产生的污泥;(2)将所述干燥的半导体制程中化学机械研磨所产生的污泥及一黏土矿物混合,得一第一混合物,再添加一发泡剂于所述第一混合物中,并研磨成粉体,得一第二混合物;(3)将所述第二混合物与一黏结剂混合,得一第三混合物;以及(4)烧结膨胀所述第三混合物,得一多孔性材料。
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