[发明专利]一种监控涂布显影设备灯箱内臭氧含量的装置及方法在审
| 申请号： | 201710248943.X | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN106896194A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 王睿 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,何娇 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种增加涂布显影设备皮带使用寿命的装置，包括灯箱，所述灯箱的上部设有气体引入口，所述气体引入口上分别设有用于检测气体流量的气体流量传感器和用于控制气体流量的气体流量开关，所述灯箱的箱体上设有与气体流量传感器电连接的气体流量显示器；所述灯箱的底部连接气体采样装置，所述气体采样装置连接用于检测臭氧浓度的气体分析仪。该装置可实现对灯箱内臭氧浓度的量测监控，并根据臭氧浓度调节引入灯箱的稀释气体的流量来减少氧气的含量，从而降低臭氧的产生量，以减少EUV照射时，臭氧对传送机构齿轮之间的皮带的腐蚀，提高了皮带的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 显影 设备 灯箱 臭氧 含量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种监控涂布显影设备灯箱内臭氧含量的装置，所述装置包括灯箱，其特征在于，所述灯箱的上部设有气体引入口，所述气体引入口上分别设有用于检测气体流量的气体流量传感器和用于控制气体流量的气体流量开关，所述灯箱的箱体上设有与气体流量传感器连接的气体流量显示器；所述灯箱的底部连接气体采样装置，所述气体采样装置连接用于检测臭氧浓度的气体分析仪。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710248943.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
