[发明专利]真空干燥设备及显示面板的制备方法

摘要

本发明公开了一种真空干燥设备及显示面板的制备方法。真空干燥设备包括真空腔室、恒温装置、电场发生装置以及真空泵。恒温装置位于真空腔室的下方；电场发生装置具有设在真空腔室内的第一金属板以及第二金属板，第一金属板位于真空腔室的底面，第二金属板平行设在第一金属板的上方，第二金属板将真空腔室分隔成位于第一金属板与第二金属板之间的第一子腔室以及第二金属板另一侧的第二子腔室，第二金属板上具有多个连通第一子腔室与第二子腔室的挥发通孔，第一金属板与第二金属板用于连接电路；真空泵连通于第二子腔室。该真空干燥设备能够使溶剂在均匀挥发的同时，实现分子排列取向的有效可控，从而最大程度地提高有机薄膜迁移率。

主权项

一种真空干燥设备，其特征在于，包括真空腔室、恒温装置以及电场发生装置；所述恒温装置位于所述真空腔室内以用于对待加工基板进行温度处理；所述电场发生装置具有第一金属板以及第二金属板，所述第一金属板以及所述第二金属板均设在所述真空腔室的内腔，所述第一金属板位于所述内腔的底面以用于放置待加工基板，所述第二金属板平行设在所述第一金属板的上方，所述第二金属板将所述真空腔室的内腔分隔成位于所述第一金属板与所述第二金属板之间的第一子腔室以及所述第二金属板另一侧的第二子腔室，所述第二金属板上具有多个连通所述第一子腔室与所述第二子腔室的挥发通孔，所述第一金属板与所述第二金属板用于连接电路。