[发明专利]一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜及其制备方法，该复合膜包括复合在一起的Bi_0.89Ho_0.08Sr_0.03Fe_0.95Mn_0.03Zn_0.02O₃铁电膜和Zn_1‑xMn_xFe₂O₄磁性膜；先在基片上旋涂制备多层Zn_1‑xMn_xFe₂O₄磁性薄膜，然后在磁性薄膜上旋涂制备多层Bi_0.89Ho_0.08Sr_0.03Fe_0.95Mn_0.03Zn_0.02O₃膜，得到该复合薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，用多种元素掺杂对铁电膜晶体结构进行调控改善薄膜的铁电性能，提高铁电测试和漏电流测试的抗击穿性能，同时用强磁性尖晶石结构的Zn_1‑xMn_xFe₂O₄作为磁性层，获得优异磁电耦合性能的复合薄膜。

主权项

1.一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜，其特征在于，该复合薄膜包括复合在一起的上层膜和下层膜，其中上层膜为Bi_0.89Ho_0.08Sr_0.03Fe_0.95Mn_0.03Zn_0.02O₃晶态膜；下层膜为Zn_1‑xMn_xFe₂O₄晶态膜，x＝0.1～0.9；其中Bi_0.89Ho_0.08Sr_0.03Fe_0.95Mn_0.03Zn_0.02O₃晶态膜为扭曲的菱方钙钛矿结构，三方相R3m:R和R3c:H空间群共存；Zn_1‑xMn_xFe₂O₄晶态膜为立方相，尖晶石结构，空间群为Fd3‑ms。