[发明专利]对位标记及基板对位方法有效
| 申请号： | 201710258537.1 | 申请日： | 2017-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN106842838B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 龚成波 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对位标记及基板对位方法。所述对位标记包括：条状的主对位标记、以及与所述主对位标记垂直相交的多个条状的辅助对位标记，所述多个辅助对位标记包括：一第一辅助对位标记、至少两个宽度不同的第二辅助对位标记、以及至少两个宽度不同的第三辅助对位标记，所述第二辅助对位标记和第三辅助对位标记相对于主对位标记的位置不同，在基板对位时，可通过任意一个辅助对位标记与主对位标记的交汇区域的中心点坐标求出对位标记整体的中心点坐标，以完成对位标记中心点的定位，能够在对位镜头的视野不变的情况下，增大对位标记的可检测范围，减少基板对位时间，提升基板对位效率。 | ||
| 搜索关键词： | 对位标记 辅助对位 基板对位 中心点坐标 垂直相交 对位镜头 交汇区域 可检测 中心点 视野 | ||
【主权项】：
1.一种对位标记，其特征在于，包括：条状的主对位标记(11)、以及与所述主对位标记(11)垂直相交的多个条状的辅助对位标记(12)；所述多个辅助对位标记(12)沿所述主对位标记(11)的延伸方向间隔排列；所述多个辅助对位标记(12)包括：一与所述主对位标记(11)的中点垂直相交的第一辅助对位标记(121)、与所述主对位标记(11)垂直相交的至少两个第二辅助对位标记(122)和至少两个第三辅助对位标记(123)，所述第二辅助对位标记(122)均设置在所述第一辅助对位标记(121)的一侧，所述第三辅助对位标记(123)均设置在所述第一辅助对位标记(121)的另一侧；各个第二辅助对位标记(122)的宽度不同，每一个第二辅助对位标记(122)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度均大于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；各个第三辅助对位标记(123)的宽度不同，每一个第三辅助对位标记(123)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度均小于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度；所述第一辅助对位标记(121)位于所述主对位标记(11)的上方的部分长度等于其位于所述主对位标记(11)的下方的部分长度。
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