[发明专利]成膜方法及成膜装置

摘要

本发明提供成膜方法及成膜装置。成膜装置具备：成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具具有第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部，且在第一凹陷部的底部具备排气口，所述第二模具与第一模具对向而配置；密封部件，配置于第一模具的第一平面部与第二模具之间，保持成膜容器内的气密；及排气装置，连接于排气口，工件从第一平面部分离，且工件的成膜对象部分在成膜容器关闭的状态下朝向第一凹陷部内的空间，方法具备：工序(a)，通过成膜装置对工件的一部分进行成膜；工序(b)，在工序(a)之后，将成膜容器打开；及工序(c)，在工序(b)开始时，通过排气装置经由排气口对成膜容器内进行排气。

主权项

1.一种成膜方法，是通过对工件的一部分进行成膜的成膜装置进行的成膜方法，其中，/n所述成膜装置具备：/n成膜容器，具有第一模具和第二模具，所述第一模具具有第一凹陷部和配置于所述第一凹陷部的周围的第一平面部，且在所述第一凹陷部的底部具备排气口，所述第二模具与所述第一模具对向而配置；/n密封部件，配置于所述第一模具的所述第一平面部与所述第二模具之间，在所述成膜容器关闭的状态下保持所述成膜容器内的气密；/n排气装置，连接于所述排气口，能够对所述成膜容器内进行排气；及/n开闭装置，开闭所述成膜容器，/n所述工件从所述第一平面部分离，且所述工件的成膜对象部分在所述成膜容器关闭的状态下朝向所述第一凹陷部内的空间，/n所述成膜方法具备：/n工序(a)，通过所述成膜装置对所述工件的一部分进行成膜；/n工序(b)，在所述工序(a)之后，通过所述开闭装置使所述第一模具相对于所述工件相对地向分离的方向移动，从而将所述成膜容器内的压力被调整成比所述成膜容器外的压力低的所述成膜容器打开；及/n工序(c)，在所述工序(b)开始时，通过所述排气装置经由所述排气口对所述成膜容器内进行排气。/n