[发明专利]薄膜剥离装置

摘要

本发明提供一种薄膜剥离装置，该薄膜剥离装置防止在一边从基板剥离贴附至基板的顶端的薄膜一边进行输送的阶段之前所产生的基板的变形等，不会对基板造成损伤且不会损害基板的质量。所述薄膜剥离装置具有基板保持机构(40)，其利用线接触对基板(2)的顶端进行保持；粘接剥离机构(30)，其利用粘接力从由基板保持机构(40)保持的基板(2)剥离薄膜(2b)；薄膜保持件(52)，其分别对由粘接剥离机构(30)卷起的粘附在基板(2)的两面上的薄膜(2b)的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构(55)，其沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜(2b)的薄膜保持件(52)；以及回收容器(3)，其收纳利用薄膜保持件(52)把持而被输送来的薄膜(2b)。

主权项

一种薄膜剥离装置，具有对基板进行输送的基板输送构件，所述薄膜剥离装置对粘附在由该基板输送构件输送的基板的两面上的薄膜进行剥离，其特征在于，具有：基板保持机构，所述基板保持机构利用线接触对基板的顶端进行保持；粘接剥离机构，所述粘接剥离机构利用粘接力从由基板保持机构保持的基板剥离薄膜；薄膜保持件，所述薄膜保持件分别对由粘接剥离机构卷起的粘附在基板的两面上的薄膜的顶端部进行把持；薄膜输送部驱动机构，所述薄膜输送部驱动机构沿与基板输送方向相反的方向输送把持了薄膜的薄膜保持件；以及回收容器，所述回收容器收纳利用薄膜保持件把持而被输送来的薄膜。