[发明专利]一种制备薄膜的方法有效
| 申请号： | 201710269837.X | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108728812B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 宋斌斌;郭凯;于涛;张传升;左宁;李新连;赵树利 | 申请（专利权）人： | 国家能源投资集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 王崇 |
| 地址： | 100011 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜的光学参数与制备工艺参数对应关系的确定方法，用于解决现有技术中不能定量地确定各层薄膜的致密度等性质的问题，包括：在多个预定制备工艺参数下分别制备薄膜；确定所述多个预定制备工艺参数下制备的各薄膜的光学参数，得到所述薄膜的光学参数与制备工艺参数对应关系，以便根据所述对应关系制备满足制备需求的薄膜。本申请还公开了一种制备薄膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜的光学参数与制备工艺参数对应关系的确定方法，其特征在于，包括：在多个预定制备工艺参数下分别制备薄膜；确定所述多个预定制备工艺参数下制备的各薄膜的光学参数，得到所述薄膜的光学参数与制备工艺参数对应关系，以便根据所述对应关系制备满足制备需求的薄膜。
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