[发明专利]一种主动开关阵列基板及其制造方法、显示面板

摘要

本发明适用于显示屏技术领域，提供了一种主动开关阵列基板及其制造方法、显示面板。其中，该基板在制造过程中，无需进行透明光阻的涂布、曝光以及显影制程，也无需进行第二个绝缘层的成膜操作；后续也不需要除去光刻胶层，而是将光刻胶层留在面板上，并接续后面的像素电极制程。可见，生产本发明的基板以及具有该基板的显示面板，可节省了生产透明光阻的设备投资费用与后续的掩膜板费用，并可在较小幅度改变红、绿及蓝三原色生产线的情况下生产白、红、绿及蓝四色技术面板，同时也可缩短了生产时间，降低生产成本，提高了生产线的效率与产能。

主权项

一种主动开关阵列基板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：在一基板上形成主动开关的栅极、绝缘层、主动层以及欧姆接触层；于所述欧姆接触层以及所述绝缘层上形成所述主动开关的源极与漏极；于所述源极、漏极以及所述绝缘层上沉积一保护层；于所述保护层上沉积一彩色滤光层并进行曝光及显影；于所述彩色滤光层及保护层上沉积一层可被可见光穿透过的光刻胶层；于所述光刻胶层上直接沉积一透明导电层，并蚀刻所述透明导电层，以形成像素电极层。