[发明专利]一种多腔室外延炉系统及其气压调节方法

摘要

本发明公开了一种多腔室外延炉系统及其气压调节方法，该系统包括多个反应室，与各个反应室相连通的主气道，与主气道相连通的H₂气体缓冲罐、真空气体缓冲罐和湿式洗涤机，与湿式洗涤机相连接的排风涡轮，通过实时监测各个反应室气压和主气道气压，进而调节排风涡轮的输出功率、H₂气体补偿主气道压降和真空缓冲平衡主气道压升来调节主气道气压，使其稳定在设定阈值内，当通过调节无法稳定主气道气压在设定阈值内时，停机气压超出设定阈值内的各个反应室，达到提高生产效率和实时调节外延炉系统气压的目的。

主权项

1.一种多腔室外延炉系统，其特征在于，包括：若干个反应室，每个所述反应室设有排气道和第一气压传感器；主气道，所述主气道设有第二气压传感器，所述主气道通过所述排气道与各个所述反应室相连通；H2气体缓冲罐，所述H2气体缓冲罐设有第一输入气道和第一控制开关，所述H2气体缓冲罐通过所述第一输入气道与所述主气道相连通，所述第一控制开关控制所述第一输入气道的打开或者关闭；真空气体缓冲罐，所述真空气体缓冲罐设有第二输入气道和第二控制开关，所述真空气体缓冲罐通过所述第二输入气道与所述主气道相连通，所述第二控制开关控制所述第二输入气道的打开或者关闭；湿式洗涤机，所述湿式洗涤机设有排风涡轮和控制器，所述控制器与所述排风涡轮相连接；输出气道，所述主气道与所述湿式洗涤机通过所述输出气道相连通；FDC系统，所述第一传感器、所述第二传感器、所述第一控制开关、所述第二控制开关和所述控制器均与所述FDC系统连接。