[发明专利]测量设备、压印装置和制造产品、光量确定及调整的方法

摘要

公开了测量设备、压印装置和制造产品、光量确定及调整的方法。用于测量对准标记之间的相对位置的测量设备包括能够以多个波长照明对准标记的照明单元，检测来自对准标记的光的检测单元，获得对准标记之间的相对位置的处理单元以及调整单元，该调整单元调整多个波长的光量之间的相对量，使得来自对准标记的检测光量之间的相对值落在预定范围内。

主权项

一种测量设备，其特征在于，包括：照明单元，用于发射包括具有第一波长的照明光和具有第二波长的照明光的光，并且被配置成照明设置在第一构件上的第一对准标记和设置在第二构件上的第二对准标记，并且照明设置在第一构件上的第三对准标记和设置在第二构件上的第四对准标记；检测单元，被配置成检测来自第一对准标记和第二对准标记的光以及来自第三对准标记和第四对准标记的光；处理单元，被配置成基于来自第一对准标记和第二对准标记的检测光来获得第一对准标记和第二对准标记之间的相对位置，以及基于来自第三对准标记和第四对准标记的检测光来获得第三对准标记和第四对准标记之间的相对位置；以及调整单元，被配置成调整具有第一波长的照明光的光量与具有第二波长的照明光的光量之间的相对量，使得由检测单元检测的来自第一对准标记和第二对准标记的光的检测光量与由检测单元检测的来自第三对准标记和第四对准标记的光的检测光量之间的相对值落在预定范围内。