[发明专利]基板清洗设备在审
| 申请号： | 201710305258.6 | 申请日： | 2017-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN107159602A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李嘉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板清洗设备。该基板清洗设备包括中空的承载杆、设于承载杆外表面上的毛刷、与承载杆一端连接的驱动装置、及与承载杆另一端旋转连接的进液管，所述承载杆上设有多个出水口，通过进液管向承载杆内部通入清洗液体，承载杆内部的清洗液体从多个出水口喷出至承载杆外部，从而均匀地润湿毛刷且对毛刷进行有效的清洗，去除毛刷内部残存的颗粒，避免在清洗基板时将毛刷内部的颗粒带到基板上及出现颗粒刮伤基板的问题，提高产品良率及产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种基板清洗设备，其特征在于，包括：中空的承载杆(10)、设于承载杆(10)外表面上的毛刷(40)、与承载杆(10)一端连接的驱动装置(20)、及与承载杆(10)另一端旋转连接的进液管(30)；所述承载杆(10)上设有多个出水口(11)；所述进液管(30)用于向承载杆(10)内部通入清洗液体；所述出水口(11)用于将承载杆(10)内的清洗液体从承载杆(10)内部喷出至承载杆(10)外部，从而润湿毛刷(40)并对毛刷(40)进行清洗。
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