[发明专利]目检装置有效
| 申请号： | 201710317403.2 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN108802059B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 孙超;冯晨丽;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种目检装置，包括：目检腔室，所述目检腔室上设有透明观测窗口，所述透明观测窗口包括透明基板及覆盖于所述透明基板内表面的增透膜；夹持装置，位于所述目检腔室内，适于夹持待检测晶圆，并带动所述待检测晶圆以任意角度旋转；光源，位于所述目检腔室内，且位于所述夹持装置远离所述透明观测窗口的一侧，适于提供照射至所述待检测晶圆表面的观测光；其中，所述增透膜适于对所述观测光增透。本发明的目检装置通过在透明观测窗口内侧设置对观测光增透的增透膜，可以避免透明观测窗口在观测光下对晶圆及金属件的反光，不会在待检测晶圆表面形成容易导致误判的投影，从而有效避免误判，提高目检的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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