[发明专利]碱性蚀刻液循环再生系统

摘要

碱性蚀刻液循环再生系统，包括有：蚀刻液管线，萃取剂管线，电解液线，油水混合液线，洗氨水洗水线，洗氯水洗水线，反萃水洗水线，市水线，废气线，DI水线。具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，效率高，成本低，提高了系统处理废液的灵活性、安全性和可靠性。能满足PCB行业最小线宽2mil的蚀刻，其蚀刻因子提升3‑5级。增加了再生液蚀刻液的稳定性，减少了废液的排放达到百分之百循环使用，延长了循环时间，且实现了碱性蚀刻工序的清洁生产。具有设计合理、再生循环时间长、铜回收率高及废气污染少、净化水可循环使用等特点。

主权项

1.碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，包括有：蚀刻液管线，所述蚀刻液管线包括有蚀刻生产线罐，所述蚀刻生产线罐经由蚀刻废液收集缸（T14）连接于蚀刻废液储存缸（T6）、并连接于萃取缸（MA）；萃取缸（MA）连接于再生液油水分离缸（T8），再生液油水分离缸（T8）连接于萃取缸（MA），萃取缸（MA）连接于再生水油水分离缸（T3），再生水油水分离缸（T3）连接于水洗油缸（MD），水洗油缸（MD）中的再生液中转缸（T2）连接于再生液储存缸（T10）；后路分为两支路，一支路连接于蚀刻废液储存缸（T6）；另一支路连接于超滤系统（UF）、并经由再生液调药缸（T11）连接于再生液调药储存缸（T12）、并返回蚀刻生产线罐；再生液调药储存缸（T12）设有一条回流线连接于再生液调药缸（T11）；萃取剂管线，所述萃取剂管线包括有水洗油缸（MD），水洗油缸（MD）中的油缸（T1）连接于萃取缸（MA），萃取缸（MA）连接于水洗萃取缸（MB），水洗萃取缸（MB）连接于反萃缸（MC）；电解液线，所述电解液线中的反萃缸（MC），所述反萃缸（MC）中的电解液中转缸（T4连接于再生液循环缸（AC），再生液循环缸（AC）一支经由电解槽（EW）返回再生液循环缸（AC），再生液循环缸（AC）另一支经由反萃缸（MC）返回再生液循环缸（AC）；油水混合液线，所述油水混合液线中的反萃缸（MC）连接于水洗油缸（MD），反萃缸（MC）连接于油水搅拌静置缸（ME）；洗氨水洗水线，所述洗氨水洗水线中的洗氨水洗水储存缸（T17）连接于水洗萃取缸（MB），水洗萃取缸（MB）经由洗氨水洗水中转缸（T15）返回连接于洗氨水洗水储存缸（T17）；所述洗氨水洗水储存缸（T17）还经由溢流线连接于洗氯水洗水储存缸（T16）；洗氯水洗水线，所述洗氯水洗水线包括有水洗萃取缸（MB），水洗萃取缸（MB）连接于水洗油缸（MD），水洗油缸（MD）中的再生水中转缸（T7）连接于洗氯水洗水储存缸（T16），洗氯水洗水储存缸（T16）经由溢流线连接于洗氨水洗水储存缸（T17）；洗氨水洗水储存缸（T17）连接于水洗萃取缸（MB）；反萃水洗水线，所述反萃水洗水线包括有水洗油缸（MD）和油水搅拌静置缸（ME），水洗油缸（MD）和油水搅拌静置缸（ME）分别经由反萃水洗水收集缸（T22）连接于反萃水洗水储存缸（T18），反萃水洗水储存缸（T18）分别连接于油水搅拌静置缸（ME）和反萃缸（MC）；反萃水洗水储存缸（T18）连接于环保池；市水线，所述市水线连接于水洗萃取缸（MB）；废气线，所述废气线包括有电解槽（EW），电解槽（EW）连接于冷凝器，并经由冷凝器连接于废气塔，废气塔处理后气体达标排放；DI水线，所述DI水线包括有DI水与除油水共用储存缸（T20），DI水与除油水共用储存缸（T20）经由超滤系统（UF）连接于蚀刻废液储存缸（T6）。