[发明专利]改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池片术领域，尤其是一种改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺，该工艺包括以下步骤首先将硅片放入蚀刻槽进行蚀刻；再将蚀刻后的硅片放入水洗槽Ⅰ中用纯水进行清洗；将清洗后的硅片放入碱槽进行碱洗；然后将碱洗后的硅片放入循环加热的过氧化氢槽进行清洗，将去除表面有机物后的硅片的放入水洗槽Ⅱ中用纯水进行清洗；接着将清洗后的硅片放入酸槽进行酸洗；然后将酸洗后硅片的放入水洗槽Ⅲ中用纯水进行清洗；最后将清洗后的硅片烘置入烘干槽中烘干。本发明与常规的洗磷工艺相比新增一个循环加热的过氧化氢槽体，所制成的电池片，Voc和FF均有所提升，从而提高了效率，提高了电池片的成品利用率，电池片表面无白圈或白点。

主权项

一种改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺，其特征在于：该工艺包括以下步骤：a、首先将硅片放入蚀刻槽进行蚀刻，去除硅片背面PN结，进行背面抛光；b、再将蚀刻后的硅片放入水洗槽Ⅰ中用纯水进行清洗，把反应物和残酸冲洗掉，避免污染；c、将清洗后的硅片放入碱槽进行碱洗，清除多孔硅及中和残酸；d、然后将碱洗后的硅片放入循环加热的过氧化氢槽进行清洗，清洗硅片表面的有机物，其中，过氧化氢的浓度控制在40％±20％，过氧化氢槽内的温度控制在70℃±15℃；e、将去除表面有机物后的硅片的放入水洗槽Ⅱ中用纯水进行清洗，把反应物和残碱去除掉，避免污染；f、接着将清洗后的硅片放入酸槽进行酸洗，去除硅片正面的磷硅玻璃；d、然后将酸洗后硅片的放入水洗槽Ⅲ中用纯水进行清洗，把反应物和残酸去除掉，避免污染；g、最后将清洗后的硅片烘置入烘干槽中烘干。