[发明专利]太阳能硅片清洗分选连线机械手在审
| 申请号： | 201710358856.X | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107248498A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 李麟;莫建明 | 申请（专利权）人： | 杭州开浦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州市临安市青*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能硅片清洗分选连线机械手，包括框架、机械手、检测平台和翻转台，所述框架上侧设置有横轴，所述机械手滑接在横轴上，所述横轴两端滑接在框架上侧，所述框架内底侧设有底架，所述检测平台设置在底架上，所述检测平台与机械手相配合，所述框架内壁安装有与机械手相配合的翻转台，所述框架外壁设有控制机械手、检测平台和翻转台运行的电控箱。不仅自动程度高，通过提高分选效率，大大提高了太阳能硅片清洗的效率，同时提高了太阳能硅片清洗后合格率，并且取出太阳能硅片后的篮筐内没有杂物，确保完成清洗后的太阳能硅片能顺利放入篮筐内。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 硅片 清洗 分选 连线 机械手 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅片清洗分选连线机械手，其特征在于，包括框架、机械手、检测平台和翻转台，所述框架上侧设置有横轴，所述机械手滑接在横轴上，所述横轴两端滑接在框架上侧，所述框架内底侧设有底架，所述检测平台设置在底架上，所述检测平台与机械手相配合，所述框架内壁安装有与机械手相配合的翻转台，所述框架外壁设有控制机械手、检测平台和翻转台运行的电控箱，所述框架上对应检测平台侧开口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
