[发明专利]真空干燥膜层的方法和显示器件有效
| 申请号： | 201710361240.8 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107201504B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 许名宏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 姜怡;王卫忠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种真空干燥膜层的方法和一种显示器件，所述方法包括：将其上形成有膜层材料的基板置于真空干燥环境中，其中膜层材料包含溶剂和用于形成膜层的溶质；在第一阶段中使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上，其中膜层材料仍包含特定量的溶剂，以形成具有流动性的软膜；在第二阶段中使冷凝在上盖板上的溶剂的一部分再冷凝到基板上，使得基板上的软膜的流动性增大；以及重复第一阶段和第二阶段，在形成表面基本平坦的膜层之后抽真空使溶剂完全蒸发且使膜层固化。 | ||
| 搜索关键词： | 膜层 膜层材料 溶剂 基板 显示器件 冷凝 上盖板 软膜 溶剂蒸发 抽真空 再冷凝 溶质 固化 蒸发 平坦 重复 | ||
【主权项】：
1.一种真空干燥膜层的方法，所述方法包括：将其上形成有膜层材料的基板置于真空干燥环境中，其中膜层材料包含溶剂和用于形成膜层的溶质；在第一阶段中使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上，其中膜层材料仍包含部分的溶剂，以形成具有流动性的软膜；在第二阶段中使冷凝在上盖板上的溶剂的一部分再冷凝到基板上，使得基板上的软膜的流动性增大；以及重复第一阶段和第二阶段，在形成表面基本平坦的膜层之后抽真空使溶剂完全蒸发且使膜层固化。
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