[发明专利]形成布局图案的方法

摘要

本发明公开一种形成布局图案的方法。首先提供一阵列图案，包含多个特征图形沿着一第一方向排列成多列，该多列特征图形在一第二方向上平行并交错。接着在各列的相邻特征图形之间插入一辅助图形。取得第n列和第n‑1列该特征图形的一最短距离d1以及第n+1列和第n‑1列该特征图形的一最短距离d2，并且根据最短距离d1和最短距离d2的差异调整插入在第n列的辅助图形。后续再将包含该辅助图形的该阵列图案输出至一光掩模。

主权项

1.一种形成布局图案的方法，包含:提供一阵列图案，包含多个特征图形，等距地沿着一第一方向排列成多列，其中第n‑1列、第n列以及第n+1列该特征图形在一第二方向上交错；在各列该特征图形之间插入一辅助图形；取得第n列和第n‑1列该特征图形的一最短距离d1和第n+1列和第n‑1列该特征图形的一最短距离d2；根据该最短距离d1和该最短距离d2的差异，调整插入在第n列的该辅助图形；以及将包含该辅助图形的该阵列图案输出至一光掩模。