[发明专利]用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710368763.5 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107190245B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王震;黄俊杰;林治明;吕守华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 牛南辉;李峥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置。所述载板包括：基板，其包括位于所述基板的用于承载待蒸镀部件的一侧的表面上的沟槽；以及设置在所述沟槽中的冷却部件，其中，所述冷却部件从所述基板的所述表面向外突出。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装置 及其 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸镀装置的载板，包括：基板，其包括位于所述基板的用于承载待蒸镀部件的一侧的表面上的沟槽；以及设置在所述沟槽中的冷却部件，其中，所述冷却部件从所述基板的所述表面向外突出。
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