[发明专利]树脂密封品制造方法及树脂密封装置在审
申请号: | 201710370137.X | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107437510A | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 岡田博和;浦上浩;高田直毅;山田哲也;早坂昇 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人: | 程伟,王锦阳 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种树脂密封品制造方法及树脂密封装置,该树脂密封品制造方法是通过将安装着电子零件EP的基板S的面即安装面MS利用由树脂构成的密封体密封来制造树脂密封品的方法,且具有树脂材料准备步骤,准备与密封体的形状的至少一部分对应的形状的树脂材料;树脂材料供给步骤,将树脂材料供给至成形模具的下模腔内,所述成形模具具备下模及上模,所述下模具有包含底部及能够相对于该底部相对性地上下滑动的周壁部的下模腔以及在上下方向对底部或周壁部施力的弹性部件(弹簧);基板配置步骤,将基板S配置在下模与上模之间;以及树脂成形步骤,将成形模具锁模,使用所述树脂材料进行树脂成形。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 制造 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种树脂密封品制造方法,是制造将安装着电子零件的基板利用由树脂构成的密封体密封的树脂密封品的方法,其特征在于,具有:树脂材料准备步骤,准备与密封体的形状的至少一部分对应的形状的树脂材料;树脂材料供给步骤,向具备下模与上模的成形模具的下述下模腔内供给所述树脂材料,所述下模具有包含底部及能够相对于该底部相对性地上下滑动的周壁部的下模腔以及在上下方向对该底部或周壁部施力的弹性部件;基板配置步骤,将所述基板配置在所述上模与所述下模之间;以及树脂成形步骤,将所述成形模具锁模,使用所述树脂材料进行树脂成形。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造