[发明专利]磁感应器件及制造方法

摘要

本发明实施例提供的磁感应器件及制造方法在衬底的第一表面开设有第一凹槽，第一金属层设置在第一凹槽内，且第一金属层的表面低于第一表面，第一金属层的表面与第一表面共同构成第一凹陷部，第一保护层的形状与第一凹陷部的形状相同，且第一保护层覆盖第一凹陷部。本发明实施例中，由于第一金属层的表面低于第一表面，使得覆盖第一金属层的第一保护层互相接触的可能性更小，更有利于提高第一金属层的布线密度，使得磁感应器件在嵌入式金属线的布线密度提高的情况下，不容易由于第一保护层的相互接触而导致短路，有利于提高使用嵌入式金属线的磁感应器件的性能。

主权项

1.一种磁感应器件，其特征在于，所述磁感应器件包括：衬底、第一金属层以及第一保护层，所述衬底的第一表面开设有至少一个第一凹槽，所述第一金属层设置于所述至少一个第一凹槽内，所述第一金属层的表面低于所述第一表面，所述第一金属层的表面与所述第一表面共同构成第一凹陷部，所述第一保护层的形状与所述第一凹陷部的形状相同且所述第一保护层覆盖所述第一凹陷部；其中，所述第一保护层的厚度不超过相邻的第一金属层之间的间距的一半与所述第一凹陷部的凹陷深度之和，其中，在所述第一保护层的表面高于所述第一表面时，所述第一保护层的厚度为所述第一保护层的延伸长度。