[发明专利]缺陷检查系统、膜制造装置以及缺陷检查方法

摘要

本发明提供能够容易地确定膜的缺陷的位置且能够更加容易地识别缺陷的种类的缺陷检查系统、膜制造装置以及缺陷检查方法。由缺陷检查系统(100a)的解析装置(6)的缺陷位置确定部(62)根据由缺陷检查系统的图像处理部(52)的变化量算出部(13)、同一部位判定提取部(14)、累计部(15)以及图像生成部(16)处理后的缺陷增强处理图像(E(t1))，来确定膜(2a)上的缺陷的位置，由解析装置的缺陷种类识别部根据由图像处理部的数据提取部以及数据保存部处理后的列分割图像来识别由缺陷位置确定部确定位置后的缺陷的种类。列分割图像容易识别缺陷的种类。因此，能够容易地确定缺陷的位置且能够更容易地识别缺陷的种类。

主权项

一种缺陷检查系统，其特征在于，具备：光源，其向膜照射光；摄像部，其按离散时间拍摄二维图像，其中，所述二维图像基于从所述光源向所述膜照射并透过所述膜后或在所述膜上反射后的所述光而形成；输送部，其相对于所述光源以及所述摄像部沿着输送方向相对地输送所述膜；图像处理部，其对由所述摄像部拍摄到的所述二维图像的图像数据进行处理；以及解析部，其对由所述图像处理部处理后的所述图像数据进行解析，所述图像处理部具有：列分割处理部，其将所述二维图像处理成列分割图像的所述图像数据，其中，所述列分割图像通过将所述二维图像分割为沿着所述输送方向排列的多个列、并使由所述摄像部按所述离散时间拍摄到的所述二维图像各自中的相同位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成；以及增强处理部，其将由所述列分割处理部处理后的所述列分割图像处理成增强了亮度变化的缺陷增强处理图像的所述图像数据，所述解析部具有：缺陷位置确定部，其根据由所述增强处理部处理后的所述缺陷增强处理图像的所述图像数据，来确定所述膜上的缺陷的位置；以及缺陷种类识别部，其根据由所述列分割处理部处理后的所述列分割图像的所述图像数据，来识别由所述缺陷位置确定部确定所述位置后的所述缺陷的种类。