[发明专利]回转装置、芯片键合装置及芯片的键合方法

摘要

本发明提供了一种回转装置、芯片键合装置及芯片的键合方法，所述回转装置的第一转盘和第二转盘通过连接件连接，电机的定子与连接件连接以驱动连接件旋转，所述连接件带动所述第一转盘和第二转盘旋转，在所述电机的定子上设置一平衡块，减少了所述第一转盘和第二转盘高速启动或停止时对框架的冲击，达到提高所述第一转盘和第二转盘位置精度与寿命的目的，并且可以通过提高转速来提高键合效率。所述芯片键合装置的第一拾取装置拾取芯片，通过第二转盘来回旋转180度来交换第一拾取装置和第二拾取装置的位置，减少了滑环结构，便于气管、线缆连接，简化了电机的运动控制及计算，并且减少了拾取装置的数量，简化了控制系统。

主权项

1.一种回转装置，其特征在于，所述回转装置包括第一转盘、第二转盘、连接件、电机和平衡块；所述第一转盘和所述第二转盘分别与所述连接件的两端连接；所述电机位于所述第一转盘和所述第二转盘之间；所述电机包括动子和定子，所述电机的动子与所述连接件连接，以驱动所述连接件旋转，所述连接件带动所述第一转盘和所述第二转盘同步旋转；所述平衡块套接于所述电机的定子外。