[发明专利]搬运装置及其搬运方法有效

专利信息
申请号: 201710400604.9 申请日: 2017-05-31
公开(公告)号: CN108987318B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 张玉地;甄静 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种搬运装置及其搬运方法,所述搬运装置包括可移动的运输机构、抓取机构、承载台以及驱动机构,所述搬运方法包括,所述搬运装置从物体存放处抓取待搬运物体或将所述待搬运物体搬运至所述物体存放处时,所述运输机构运动至所述物体存放处,选取所述承载面上面向所述物体存放处的位置为目标取放区,所述驱动机构可驱动所述承载台水平转动,将满足要求的承载工位转动至所述目标取放区,所述抓取机构始终在所述目标取放区的承载工位上取放所述待搬运物体。本发明提供的搬运装置及其搬运方法,使得抓取机构在每次抓取目标取放区的承载工位上的待搬运物体时,其运动轨迹能够相同,从而提升了搬运装置的搬运效率。
搜索关键词: 搬运 装置 及其 方法
【主权项】:
1.一种搬运装置,其特征在于,包括可移动的运输机构、抓取机构、承载台以及驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述承载台在所述运输机构上水平转动;所述承载台具有一个与水平面平行的承载面,所述承载面上周向设置有多个承载工位,所述承载工位用于放置待搬运物体,所述承载台的中心设有通孔;所述抓取机构用于取、放所述待搬运物体,且所述抓取机构穿过所述通孔与所述运输机构连接。
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