[发明专利]密封门装置在审
| 申请号： | 201710403933.9 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107238954A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 马海买提 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01B21/02 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，包括一密封门，贴附于基板进出口所在平面，且可平移至基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于密封门两端的驱动螺杆；其中，驱动电机连接齿轮，位于密封门至少一端的驱动螺杆套接于齿轮的中心，通过齿轮驱动驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得密封门在驱动螺杆上移动；有益效果为本发明所提供的一体式密封门，贴附于机体表面设置，密闭时具有较佳的密封效果，密封门及驱动机构结构简单，便于拆洗；解决了双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。
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