[发明专利]掩膜板及其制作方法

摘要

本发明涉及一种掩膜板及其制作方法。上述掩膜板包括：掩膜板基体，掩膜板基体具有AA区以及非AA区，且掩膜板基体包括相对的第一表面和第二表面，AA区具有贯穿掩膜板基体的第一开口，非AA区具有位于第一表面上的第二开口；以及第一电铸层，位于掩膜板基体的第一表面上，且第一电铸层露出第一开口，并覆盖第二开口。上述掩膜板中，由于掩膜板基体的AA区与非AA区分别具有第一开口和第二开口，且第一电铸层露出第一开口，并覆盖第二开口，不会影响蒸镀效果。同时，非AA区与AA区均设置了开口，能够避免在张网过程中掩膜板上AA区与非AA区的过渡区域产生突变，有利于AA区的稳定，从而有利于提高图案蒸镀的效果，提升产品的良率。

主权项

一种掩膜板，其特征在于，包括：掩膜板基体，所述掩膜板基体具有AA区以及非AA区，且所述掩膜板基体包括相对的第一表面和第二表面，所述AA区具有贯穿所述掩膜板基体的第一开口，所述非AA区具有位于所述第一表面上的第二开口；以及第一电铸层，位于所述掩膜板基体的第一表面上，且所述第一电铸层露出所述第一开口，并覆盖所述第二开口。