[发明专利]一种凸块缺陷检测方法

摘要

本发明提供一种凸块缺陷检测方法，包括：获取第一标准影像；获取不完整裸片的黑白图像；将不完整裸片的黑白图像与第一标准影像对比，将缺失部分定义为白色缺陷并过滤掉，利用第一算法检测出不完整裸片表面的凸块缺陷；采用相同方法检测完整裸片的凸块缺陷，或者获取第二标准影像；获取完整裸片的灰度图像；将完整裸片的灰度图像与第二标准影像比对，根据第二算法筛查出完整裸片表面的凸块缺陷。本发明对不完整裸片进行表面缺陷的扫描，通过机台光学原理获取黑白图像，调用算法过滤白色缺陷，对尺寸、面积进行卡控，进而准确扫描凸块缺陷，效率和准确性都大大提高。

主权项

1.一种不完整裸片的凸块缺陷检测方法，其特征在于，所述不完整裸片的凸块缺陷检测方法至少包括：步骤S1：挑选待测晶圆上的多个完整裸片，获取所述多个完整裸片的黑白图像，将所述多个完整裸片的黑白图像进行影像叠加，以获取第一标准影像；步骤S2：对所述待测晶圆上所有的不完整裸片进行扫描，获取各不完整裸片的黑白图像；步骤S3：将不完整裸片的黑白图像与所述第一标准影像进行对比，将不完整裸片缺失部分定义为白色缺陷；步骤S4：过滤掉所述白色缺陷后，利用第一算法对不完整裸片的黑白图像上的黑色区域的尺寸或面积进行缺陷卡控，若所述黑色区域的尺寸或面积大于设定尺寸或设定面积则判定所述黑色区域为凸块缺陷，以检测出各不完整裸片表面的凸块缺陷。