[发明专利]激光光线的检查方法有效
| 申请号： | 201710413237.6 | 申请日： | 2017-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN107470782B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 荒川太朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/402;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供激光光线的检查方法，准确地对光学系统的光轴与激光光线的光轴的偏移进行检查。该激光光线的检查方法包含如下步骤：准备步骤(S1)，将检查用板状物和支承基材隔着树脂层层叠而准备被加工物单元，该树脂层在被照射透过检查用板状物的波长的激光光线时熔融；改质层形成步骤(S2)，使检查用板状物露出而将被加工物单元保持在卡盘工作台的保持面上，按照将激光光线从检查用板状物的露出面会聚在检查用板状物的内部的方式进行照射而在检查用板状物的内部形成改质层；以及检查步骤(S3)，在实施了改质层形成步骤之后，对因透过了检查用板状物的激光光线而形成于树脂层的熔融痕的状态进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光线 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种激光光线的检查方法，其特征在于，该激光光线的检查方法包含如下的步骤：准备步骤，将检查用板状物和支承基材隔着树脂层层叠而准备被加工物单元，该树脂层在被照射透过该检查用板状物的波长的激光光线时熔融；改质层形成步骤，使该检查用板状物露出而将该被加工物单元保持在卡盘工作台的保持面上，按照将该激光光线从该检查用板状物的露出面会聚在该检查用板状物的内部的方式进行照射而在该检查用板状物的内部形成改质层；以及检查步骤，在实施了该改质层形成步骤之后，对因透过了该检查用板状物的该激光光线而形成于该树脂层的熔融痕的状态进行检查。
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