[发明专利]堆积物监视装置及真空泵有效
| 申请号： | 201710415007.3 | 申请日： | 2017-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN107795498B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 坪川彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种堆积物监视装置及真空泵，能够更正确地判定堆积量是否过剩。堆积物监视部(25)包括：作为状态判定部的获取部(251)，判定泵主体(1)的排气状态是否为规定排气状态，即判定是通气状态或几乎无气流的状态中的哪一种排气状态；以及判定部(252)，输入表示泵内的堆积物的量的堆积量指标即马达电流值(I)，在规定排气状态下的堆积量指标(I)为允许堆积阈值以上时，判定为堆积过剩。 | ||
| 搜索关键词： | 堆积物 监视 装置 真空泵 | ||
【主权项】：
一种堆积物监视装置，是利用马达使转子旋转驱动而将气体排出的真空泵的堆积物监视装置，其特征在于包括：状态判定部，判定所述真空泵是否处于规定排气状态；以及堆积量判定部，输入表示所述真空泵内的堆积物的量的堆积量指标，在所述规定排气状态下的所述堆积量指标为允许堆积阈值以上时，判定为堆积过剩。
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