[发明专利]半导体封装件及其制造方法在审
申请号: | 201710416694.0 | 申请日: | 2017-06-06 |
公开(公告)号: | CN107546210A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 许峰诚;洪瑞斌;郑心圃 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了半导体封装件,包括具有有源表面的第一半导体管芯层、电连接至有源表面的导电接触件,导电接触件的侧壁由绝缘层围绕,以及连接至导电接触件的焊料凸块。晶种层位于导电接触件的侧壁和绝缘层之间。本发明提供了用于制造半导体封装件的方法,该方法包括提供载体,在载体上方形成绝缘层,将载体从绝缘层脱粘并且通过蚀刻操作从绝缘层暴露导电接触件。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体封装件,包括:第一半导体管芯层,具有有源表面;导电接触件,电连接至所述有源表面,所述导电接触件的侧壁由绝缘层围绕;以及焊料凸块,连接至所述导电接触件,其中,晶种层位于所述导电接触件的所述侧壁和所述绝缘层之间。
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