[发明专利]可挠式面板以及可挠式面板的制造方法在审
申请号: | 201710428989.X | 申请日: | 2017-06-08 |
公开(公告)号: | CN109037134A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 游明璋;陈谚宗 | 申请(专利权)人: | 瀚宇彩晶股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种可挠式面板的制造方法。首先,提供载板,并在载板上形成图案化导电层,且图案化导电层包括多个条状电极。接着,在图案化导电层上形成图案化黏接层,设置在条状电极的表面,并且不与载板相接触。然后,在图案化黏接层上形成可挠式薄膜基板,在可挠式薄膜基板表面形成电子组件层,并在电子组件层上设置保护层,使保护层、可挠式薄膜基板与电子组件层组成至少一可挠式面板。其后,进行载板分离工艺,对条状电极通电以产生热能,以降低图案化黏接层的黏性,并将图案化黏接层与可挠式面板从载板分离。 | ||
搜索关键词: | 可挠式面板 载板 图案化 黏接层 图案化导电层 电子组件层 可挠式薄膜 条状电极 保护层 基板 黏性 分离工艺 基板表面 制造 通电 | ||
【主权项】:
1.一种可挠式面板的制造方法,其特征在于,包括:提供一载板;在所述载板上形成一图案化导电层,所述图案化导电层包括多个条状电极;在所述图案化导电层上形成一图案化黏接层,设置在所述条状电极的表面,并且不与所述载板相接触;在所述图案化黏接层上形成一可挠式薄膜基板;在所述可挠式薄膜基板表面形成一电子组件层;在所述电子组件层上设置一保护层,使所述保护层、所述可挠式薄膜基板与所述电子组件层组成至少一可挠式面板;以及进行一载板分离工艺,对所述条状电极通电以产生热能,以降低所述图案化黏接层的黏性,并将所述图案化黏接层与所述可挠式面板从所述载板分离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造