[发明专利]蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法

摘要

本发明公开了一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法，蒸镀系统包括：至少一条蒸镀线、第一传送轨道和托盘，每条蒸镀线包括蒸镀腔室，蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个子蒸镀腔依次相连，蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道穿设在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间，第一传送轨道位于蒸发源组件的上方；托盘包括用于放置工件的托架，托盘可移动地设在第一传送轨道上以在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间传送工件使蒸发源组件对工件进行蒸镀。根据本发明实施例的蒸镀系统，优化了蒸镀线的布局，简化了操作步骤，提高了空间利用率，减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。

主权项

1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括：至少一条蒸镀线，每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个所述子蒸镀腔依次相连，所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道，所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间，所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方；托盘，所述托盘包括用于放置工件的托架，所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间传送所述工件使所述蒸发源组件对所述工件进行蒸镀。