[发明专利]MEMS麦克风贴膜设备

摘要

本发明公开一种MEMS麦克风贴膜设备，包括：取料机构，载料机构，送膜机构，校准机构和贴膜机构，其中，取料机构包括取料吸嘴组和取料驱动装置；载料机构包括转盘和转盘驱动装置；送膜机构包括送膜轮、收膜轮、压膜装置，以及送膜驱动装置；校准机构包括CCD、角度校准装置和角度驱动装置；贴膜机构包括铲刀、吸嘴和贴膜驱动装置。本发明的MEMS麦克风贴膜设备首先通过CCD获得膜带的影像信息，进而对膜带的位置进行调整，然后取膜、贴膜，提高了贴膜的精度，能够准确的将膜片覆盖到MEMS麦克风表面并遮挡MEMS麦克风上的音孔。

主权项

1.一种MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，包括：取料机构，包括用于吸取MEMS麦克风的取料吸嘴组，以及用于驱动该取料吸嘴组移动的取料驱动装置，所述取料吸嘴组包括若干取料吸嘴；载料机构，包括转盘和驱动该转盘转动的转盘驱动装置，其中，该转盘上设有至少两组的工位组，每组所述工位组包括与所述取料吸嘴数量相同的工位，该工位用于放置所述MEMS麦克风，且每一所述工位的大小和形状与所述MEMS麦克风适配；送膜机构，包括送膜轮、收膜轮、位于所述送膜轮与收膜轮之间的压膜装置，以及用于驱动所述送膜轮和/或收膜轮的送膜驱动装置，其中，膜带的两端分别缠绕在所述送膜轮和收膜轮上，且所述膜带的中段被夹持在所述压膜装置上；校准机构，包括CCD、角度校准装置和用于驱动所述角度校准装置转动的角度驱动装置，其中，所述压膜装置设置在所述角度校准装置上，所述CCD位于所述角度校准装置的下方；以及贴膜机构，位于压膜装置上方，其包括用于将膜带上的膜片铲起的铲刀、用于吸起所述膜片的吸嘴，以及驱动所述铲刀和吸嘴的贴膜驱动装置。