[发明专利]提升PERC背钝化效果的电池制备方法

摘要

本发明提供一种提升PERC背钝化效果的电池制备方法，包括清洗、扩散、洗磷、热氧化、背钝化、正面镀膜、激光刻槽和丝网印刷。本发明提供的一种提升PERC背钝化效果的电池制备方法，在洗磷后经热氧化解决洗磷后存在的杂质等，并且热氧化过程中硅片表面易生成一层薄薄的SiOx层，这层SiOx层可以提高MAIA的背钝化效果，增加氧化铝的致密性，改善了EL等良率问题，从而提升MAIA的背钝化效率。

主权项

1.一种提升PERC背钝化效果的电池制备方法，包括在硅片上进行清洗、扩散、洗磷、背钝化、正面镀膜、激光刻槽和丝网印刷，其特征在于，在洗磷和背钝化工艺之间增加热氧化工艺；所述热氧化具体包括，步骤1：将硅片送入炉中，其中进舟时间为750s，通大氮进行保护，其中，大氮的流量为8000～15000sccm；步骤2：硅片送入炉中过后，通小氧进行热氧化，小氧的流量范围为20～200sccm，通氧时间为3000～5000s，同时通大氮，大氮的流量范围为8000～15000sccm之间；步骤3：热氧化结束后，关闭小氧流量器，继续通大氮进行保护，其中，大氮的流量范围为8000～15000sccm之间，出舟时间为750s。