[发明专利]一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法

摘要

本发明公开了一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法。一种自动对位装置包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。本发明有效的避免了因裁切、冲挂孔所产生的干膜屑对曝光的影响，再有静电棒消除静电、除尘机构除尘、空气净化等来保证基材的洁净度。采用高分辨率镜头组件进行实时监控对位情况，提高了对位的精度。全过程自动化操作，节省人工成本，提高了生产效率。

主权项

1.一种自动对位装置，其特征在于，包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；所述上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置；所述的上菲林机构和下菲林机构均包括菲林安装板，设于菲林安装板一侧的透明板，及固定于菲林安装板且用于从二个方向调节透明板位置的若干个动力组件；所述透明板与菲林安装板通过设有的若干个滑动件滑动联接；所述动力组件包括菲林动力件，与菲林动力件传动联接的丝杆件，及设于丝杆件动力输出端与透明板之间的铰接件；所述铰接件设有的铰接杆一端与透明板滑动联接，另一端与丝杆件的传动螺母铰接。