[发明专利]影像辅助的置晶方法及置晶设备

摘要

本发明提供一种影像辅助的置晶方法，包括取晶步骤、基准影像撷取步骤、对位影像撷取步骤、计算处理步骤、校正调整步骤及置晶步骤，于基准影像撷取步骤，自影像基准构件的对向方向撷取涵盖有影像基准构件以及置晶构件吸取的晶片的基准影像，而得到影像基准构件对晶片相对位置关系信息，于对位影像撷取步骤，自影像基准构件的背向方向撷取涵盖有影像基准构件及待置晶基板的影像基准构件对基板位置关系影像，于计算处理步骤推算出置晶构件吸取的晶片位置与待置晶部位之间的位置校正关系信息，于校正调整步骤，校正调整置晶构件与待置晶部位之间的相对位置，使置晶构件吸取的晶片的位置为对准待置晶部位。

主权项

1.一种影像辅助的置晶方法，用于移动置晶设备的置晶构件至待置晶基板的待置晶部位，所述的置晶设备包括置晶机构、基准影像撷取机构及对位影像撷取机构，所述的置晶机构包括所述的置晶构件及设置于所述的置晶构件外围的影像基准构件，所述的置晶方法包含：取晶步骤，利用所述的置晶构件吸取晶片；基准影像撷取步骤，利用所述的基准影像撷取机构自所述的影像基准构件的对向方向撷取涵盖有所述的影像基准构件以及所述的置晶构件吸取的所述的晶片的基准影像，而得到所述的晶片与所述的影像基准构件之间的相对位置的影像基准构件对晶片相对位置关系信息；对位影像撷取步骤，利用所述的对位影像撷取机构自所述的影像基准构件的背向方向撷取涵盖有所述的影像基准构件及待置晶基板的影像基准构件对基板位置关系影像；计算处理步骤，依据所述的影像基准构件对基板位置关系影像以及所述的影像基准构件对晶片相对位置关系信息，而推算出所述的置晶构件吸取的所述的晶片位置与所述的待置晶基板上的待置晶部位之间的位置校正关系信息；校正调整步骤，依据所述的位置校正关系信息而校正调整所述的置晶构件与所述的待置晶部位之间的相对位置，使所述的置晶构件吸取的所述的晶片的位置为对准所述的待置晶部位；以及置晶步骤，使所述的置晶构件执行置晶。