[发明专利]一种真空机械手及基板转运装置

摘要

本发明公开一种真空机械手及基板转运装置，涉及装载技术领域，以减少基板在转移面的位置发生移动，甚至出现掉落的问题。所述真空机械手包括安装架体、机械手指和角度调节机构，安装架体上设有容纳机械手指的安装槽，机械手指的一端作为铰接端铰接在安装槽内，机械手指上设有与机械手指的转移面位于同一面的挡板，挡板位于机械手指的转移面与机械手指的铰接端之间，角度调节机构用于调节机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角。所述基板转运装置包括上述技术方案所提的真空机械手。本发明提供的真空机械手用于基板转运中。

主权项

1.一种真空机械手，其特征在于，包括安装架体、机械手指和角度调节机构，所述安装架体上设有用于容纳所述机械手指的安装槽，所述机械手指的一端作为铰接端铰接在所述安装槽内，所述机械手指上设有与所述机械手指的转移面位于同一面的挡板，所述挡板位于所述机械手指的转移面与所述机械手指的铰接端之间，所述角度调节机构用于调节所述机械手指的转移面所在平面与所述安装槽的槽底所在平面的夹角；所述角度调节机构包括驱动单元以及与驱动单元的动力输出端连接的连杆；所述安装槽的侧壁开设有长孔，所述连杆的一端通过所述长孔伸入所述安装槽内，所述连杆伸入所述安装槽内的一端设有可移动体，所述可移动体位于所述安装槽的槽底与所述机械手指的底面之间；所述驱动单元用于驱动所述连杆带动所述可移动体沿着所述机械手指的手指走向运动；所述可移动体用于沿着所述机械手指的手指走向运动时调节所述机械手指的转移面所在平面与所述安装槽的槽底所在平面的夹角。