[发明专利]一种激光封装装置及封装方法有效
| 申请号： | 201710470990.9 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109093251B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 蓝科;戈亚萍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/20 | 分类号： | B23K26/20;B23K26/06;B23K26/073;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光封装装置及封装方法，所述激光封装装置将激光束照射至封装基底上，并形成一光斑，在与激光束行进路线的方向垂直的表面上所述光斑边缘至所述光斑中心的光强逐渐下降，所述光斑包括靠近所述光斑边缘的第一区段和靠近所述光斑中心的第二区段，所述第一区段的光强下降比率小于所述第二区段的光强下降比率，所述第一区段与所述第二区段的分界位置为第一拐点。采用本发明提供的这种光斑的激光束对封装基底进行封装有效提高照射到玻璃料上的剂量均匀性，进一步提高玻璃料的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 封装 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光封装装置，其特征在于，所述激光封装装置将激光束照射至封装基底上，并形成一光斑，在与所述激光束行进路线的方向垂直的表面上所述光斑边缘至所述光斑中心的光强逐渐下降，所述光斑包括靠近所述光斑边缘的第一区段和靠近所述光斑中心的第二区段，所述第一区段的光强下降比率小于所述第二区段的光强下降比率，所述第一区段与所述第二区段的分界位置为第一拐点。
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