[发明专利]等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种对矩形的被处理基板的外周侧的区域在周向上进行更加均匀的等离子体处理的技术。本发明的等离子体处理装置(1)利用形成于阴极电极(13)与矩形的阳极电极部(3)之间的处理气体的电容耦合等离子体(P)对矩形的被处理基板(G)实施等离子体处理。此时，阳极电极部(3)在径向上被分割成多个径向分割电极(34、33、32)，外周侧的径向分割电极(32)进一步被分割成角部侧的角部分割电极(32b)和边部侧的边部分割电极(32a)。在这些角部分割电极(32b)和边部分割电极(32a)中的至少一者接地端(104)侧设置有阻抗调整部(52、51)。

主权项

1.一种等离子体处理装置，其利用等离子化了的处理气体对进行了真空排气的处理容器内的矩形的被处理基板实施等离子体处理，所述等离子体处理装置的特征在于，包括：阴极电极，其在与该处理容器绝缘的状态下配置于所述处理容器内，经由匹配电路与高频电源连接，并且用于载置矩形的被处理基板；和阳极电极部，其在与所述处理容器绝缘的状态下与所述阴极电极相对地配置，具有与所述被处理基板对应的矩形的平面形状，所述阳极电极部，其在令从该阳极电极部的中央侧向外周侧去的方向为径向时，在所述径向上被分割成多个径向分割电极，这些径向分割电极分别在彼此绝缘的状态下与接地端连接，所述多个径向分割电极中位于外周侧的径向分割电极设置于方环状的区域中，且在所述方环状的区域中在周向上被分割成位于所述阳极电极部的角部侧的多个角部分割电极和位于边部侧的多个边部分割电极，这些角部分割电极和边部分割电极分别在彼此绝缘的状态下与接地端连接，在所述角部分割电极和边部分割电极中的至少一者的接地端侧设置有阻抗调整部，该阻抗调整部用于对从所述阴极电极经由等离子体至各角部分割电极或边部分割电极的接地端的电路的阻抗进行调整。