[发明专利]OLED蒸镀设备及其防粘板在审
| 申请号： | 201710480800.1 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107287559A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 涂爱国;魏锋;李金川;姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人： | 袁江龙 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种OLED蒸镀设备及其防粘板，该防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料沉积在聚酰亚胺薄膜的表面。本发明提供的OLED蒸镀设备及其防粘板将未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料直接沉积在聚酰亚胺薄膜的表面，有机材料的回收非常方便。 | ||
| 搜索关键词： | oled 设备 及其 防粘板 | ||
【主权项】：
一种OLED蒸镀设备，其特征在于，所述OLED蒸镀设备包括壳体，所述壳体内形成有蒸镀腔，所述蒸镀腔内用于放置被蒸镀基板和有机材料并在真空条件下使所述有机材料蒸发或升华并蒸镀到所述被蒸镀基板表面凝聚成膜，所述蒸镀设备内设有防粘板，所述防粘板覆盖所述壳体的内表面以对未蒸镀到所述被蒸镀基板上的所述有机材料进行收集，所述防粘板包括支撑基板和设于所述支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到所述被蒸镀基板上的有机材料沉积在所述聚酰亚胺薄膜的表面。
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