[发明专利]LTPS基板及其制作方法、薄膜晶体管、阵列基板和显示装置有效
| 申请号： | 201710482644.2 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107316906B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 李海旭;曹占锋;姚琪;薛大鹏;路达 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜;王增鑫 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种LTPS基板及其制作方法、薄膜晶体管、阵列基板和显示装置。所述一种LTPS基板，能够用于薄膜晶体管的制作，包括遮光层，所述遮光层主要由掺杂镧系元素的非晶硅构成。本发明通过采用主要由掺杂镧系元素的非晶硅膜层作为LTPS基板的遮光层，不仅在确保遮光效率的同时减少了生产的工艺，更进一步地防止由于ELA过程中H渗出而造成的H爆炸问题的发生。解决了LTPS基板制作过程中存在的ELA不良问题，此外，可在一定程度上实现降低相应装置或系统整体制造的复杂性及有效地节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | ltps 及其 制作方法 薄膜晶体管 阵列 显示装置 | ||
【主权项】：
一种LTPS基板，能够用于薄膜晶体管的制作，其特征在于，包括遮光层，所述遮光层主要由掺杂镧系元素的非晶硅构成。
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