[发明专利]一种离子注入机束流均匀性调节装置在审
| 申请号： | 201710486138.0 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109119315A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 何山 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机束流均匀性调节装置。该装置主要包括：支撑杆(1),丝杠(2),多磁极侧板(3),滑块(4),铁芯左(5),顶板(6),限位挡块(7),固定板(8),铁芯右(9)，电机(10)，电位计(11)，调整垫片(12)，电机支架(13)，联轴器(14)，电位计支架(15)。整个装置有两部分，图1为运动执行部分，图2为驱动部分。电机(10)带动联轴器(14)，从而使丝杠(2)运动，带动铁芯左(5)或铁芯右(9)运动，滑块(4)起导向作用，限位挡块(7)在运动的过程中会碰到多磁极侧板(3)的边缘发挥限位作用。磁级左(5)或磁级右(9)的运动会带动支撑杆(1)，从而使电位计(11)运动。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 铁芯 均匀性调节 离子注入机 限位挡块 电位计 多磁极 联轴器 支撑杆 侧板 磁级 滑块 束流 丝杠 电机 半导体制造领域 离子注入装置 电位计支架 导向作用 电机支架 调整垫片 限位作用 运动执行 固定板 运动会 驱动 | ||
【主权项】：
1.本发明公开了一种离子注入机束流均匀性调节装置，该装置主要包括：支撑杆(1),丝杠(2),多磁极侧板(3),滑块(4),铁芯左(5),顶板(6),限位挡块(7),固定板(8),铁芯右(9)，电机(10)，电位计(11)，调整垫片(12)，电机支架(13)，联轴器(14)，电位计支架(15)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710486138.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：等离子体源
- 下一篇：含硼掺杂剂组合物、使用其的系统和方法
