[发明专利]一种连续制备大颗粒硅溶胶的方法在审

专利信息
申请号: 201710486228.X 申请日: 2017-06-23
公开(公告)号: CN107162005A 公开(公告)日: 2017-09-15
发明(设计)人: 王宇湖;余佳佳 申请(专利权)人: 苏州纳迪微电子有限公司
主分类号: C01B33/141 分类号: C01B33/141;B82Y30/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 代理人: 范晴
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种连续制备大颗粒硅溶胶的方法,该方法通过不断地滴加碱性溶液与硅酸前驱体,以达到连续进料、连续出料、二氧化硅颗粒连续生长的目的;而且该硅溶胶具有除钾或钠离子外其他所有金属杂质含量低的品质,而钾离子对大多数电子产品的抛光基本无影响。连续法制备硅溶胶,可以在有限的空间与时间内连续地生产出所需要粒径的大颗粒硅溶胶,与间隙法相比,生产效率大大提高。
搜索关键词: 一种 连续 制备 颗粒 硅溶胶 方法
【主权项】:
一种连续制备大颗粒硅溶胶的方法,其特征在于,包括下列步骤:(1)配制碱性水溶液A液,(2)将烷氧基硅烷加入高纯酸性水溶液中,通过水解反应制得无色透明硅酸水解液前驱体B液,(3)在第一反应容器内加入步骤(1)制备的碱性溶液A液,加热至沸腾回馏,(4)并将步骤(2)制备的硅酸水解液前驱体B液和步骤(1)制备的碱性溶液A液,同时连续地滴加在步骤(3)的第一反应容器的碱性溶液中A液,在该条件下二氧化硅颗粒成核生长;(5)将第一反应容器中制备得到的硅溶胶导入到第二反应容器,并将步骤(2)制备的硅酸水解液前驱体B液和步骤(1)制备的碱性溶液A液,同时连续地滴加在步骤(3)的第二反应容器的碱性溶液中A液,在该条件下二氧化硅颗粒成核生长;(6)将第二反应容器中制备得到的硅溶胶导入到第n反应容器,并将步骤(2)制备的硅酸水解液前驱体B液和步骤(1)制备的碱性溶液A液,同时连续地滴加在步骤(3)的第n反应容器的碱性溶液中A液,在该条件下二氧化硅颗粒成核生长;其中n≥1;(7)最后将第n反应容器的硅溶胶导出,得到成品;在整个生产过程中从第一反应容器到第n反应容器的反应,都是在连续滴加硅酸水解液前驱体B液和碱性溶液A液,进行反应。
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